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  • 藍寶石清洗機

設備名稱:龍門單臂自動超聲波清洗機

設備型號:FWA-3040TKC
清洗對象:藍寶石基片
使用廠家:福建晶安光電

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詳細參數 Parameter

龍門單臂自動超聲波清洗機,藍寶石基片清洗機

 清洗工藝:

工序方法

清洗方式

清洗時間

清洗液

加熱功率

過濾

進水

排水

缸蓋

拋動

1

進料

 

 

 

 

 

 

 

 

 

2

超聲波清洗

120KHZ / 2KW

5~10min

清洗劑

6KW

自動

手動

/

3

噴淋漂洗

噴淋

5~10min

純水

6KW

自動

手動

 

4

浸泡出料

 

 

 

 

 

 

 

 

 

3.1進料→超聲波漂洗(120Khz)→噴淋漂洗→浸泡出料

3.2 清洗目的:去除工件加工過程中殘留的油污及粉屑

3.3清洗介質:水+脫脂劑

3.4清洗對象:晶圓

3.5 清洗能力:5-10min可清洗450片晶圓,即18只花籃。

用戶已將晶園擺放在花籃內,花籃規格為:70×125×70mm,每個花籃裝載25片晶圓。

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